CS熱式質量流量計是利用熱傳原理之間的的熱量交換關系來測量流量的儀表，當前只能用于測量氣體。其是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量的一種流量儀表。

 

　　CS熱式質量流量計通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

 

　　CS熱式質量流量計缺點：被測氣體若在管壁沉垢后會影響測量值，有易堵塞的缺點；對液體和脈動流用熱式質量流量計對于在黏性液體在使用上都將受到限制；因熱導率和cp值變化，測量值會發生較大變化而產生誤差。

 

　　CS熱式質量流量計優點：氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變化，其附近變化不大；寬量程比，組成簡單，可測量流速低至0.5Nm/s高至100Nm/s的氣體，可用于氣體撿漏；安裝維修簡便，在現場條件允許情況下，可以實現不停產安裝和維護；抗震性能好使用壽命長，出現故障率小。